[플라즈맵 특허 현황]
2023.12.18 기준 특허 등록 80건, 심사중 45건(PCT 포함)
특허 제 10-2611478호 (2023.12.04)
“플러즈마 처리 장치"의 국내특허 권리 취득
해당 발명은, 별도의 공정 가스를 사용하지 않고 저압 상태인 대기를 낮은 전압으로 방전하여 안정적인 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 처리장치에 관한 발명임. 본 기술적 특징을 통해 안정적이며 높은 표면 처리 성능을 갖춘 플라즈마 발생이 가능하고 경제적인 장치 구성이 가능하며, 공정 가스의 사용에 따른 운영 및 관리비용이 발생하지 않는 장점을 가짐.